로터리 베인 진공펌프
Becker의 견고하게 구성된 회전식 베인 펌프는 포지티브 변위 작동 원리를 활용합니다. 슬롯이 있는 편심 장착 로터는 완전히 밀폐된 팬 냉각 모터에 의해 구동되는 원통형 하우징에서 회전합니다. 정밀하게 슬라이딩되는 베인은 슬롯에서 움직이며 원심력에 의해 실린더 벽으로 구동됩니다. 개별 작업실은 베인 사이의 분리에 의해 생성된다.
건식 로터리 베인 및 오일식 로터리 베인 진공 펌프는 모두 진공 애플리케이션의 높은 압력 차이에 적합합니다. 펌프 기술을 선택할 때 고려해야 할 많은 요인들이 있지만, 첫 번째 문제는 항상 공정에 필요한 진공 수준입니다. 원하는 진공 수준에서의 시간, 잠재적 오염 물질, 주변 조건은 기술을 선택할 때 고려해야 하는 여러 가지 요인 중 일부에 불과합니다.
로터리 베인 진공펌프
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건식 로터리 베인 진공펌프
건식 로터리 베인 진공 펌프는 진공 애플리케이션의 높은 압력 차이에 적합합니다. 자체 윤활, 탄소-흑연 복합 베인이 실린더 벽에 직접 접촉합니다. 이를 통해 달성할 수 있는 진공 레벨이 100mbar 절대값으로 제한됩니다.
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오일식 로터리 베인 진공펌프
오일식 로터리 베인 진공 펌프는 미세한 진공을 발생시켜 고진공 용도에 적합합니다. 섬유 유리 베인과 작업 챔버의 실린더 벽에 있는 얇은 오일 막이 챔버를 누출로부터 보호합니다. 이 씰은 절대압 1mbar의 깊이까지 진공 레벨을 달성할 수 있는 능력을 제공합니다.